?

1超高真空油擴散泵的極限壓力? 超高真空油擴散泵極限壓力就是指沒有外界氣動閥門的標準下,泵長期性運行能夠做到? 的較少壓力(即真空泵本身能夠做到的較少壓力),這時泵的泵效為零。實際上,? 測量擴散泵極限壓力時,必須安上按國家行業標準要求的測試罩,并按照要求程序流程開展? 測量,這時測試罩內的汽體負荷,將危害到評測的極限壓力值。? 泵的極限壓力能用下式表明:
P=P+QF+Oc

式中p—擴散泵的極限壓力,Pa;? P—測試罩壁溫下泵油的飽和蒸氣壓,Pa? S擴散泵的泵效,L/s;? Q-泵的反流氣體壓力,Pa·L/s;? Q測試罩內氣動閥門的氣體壓力(出供氣量、漏汽量

從公式計算(21)能夠看得出,測試罩的Qc值,可根據超高真空焊接及密封性構造設? 計、激光焊接加工加工工藝及嚴苛的測漏標準,將漏汽量少到規定值下列;針對原材料的出? 供氣量,可選用300℃之上高溫烤制和持續長期性抽真空的方式,以減少原材料的排氣速? 率。若不考慮到測試罩、人口數量處泵壁的漏汽、原材料放空氣對極限壓力的危害,基礎理論上影? 響超高真空油擴散泵極限壓力的關鍵要素是泵油的飽和蒸氣壓和泵的反流(泵的返? 流包含油蒸汽和被縮小的汽體反流)。他們和泵油的采用、泵油的分餾設計方案、泵油? 的防返油構造及其泵的噴管等比級數等相關,因而,采用超高真空油擴散泵時,應留意? y下泵的特性特性。

?