設計方案一套EZD1-60×100型高矮雙用真空電子束焊機真空系統

? 真空電子束焊接的基本概念是在真空標準下,從射線管發送的離子束在髙壓(通? 30~200KV)加快下,根據電磁透鏡聚焦點成高效率能量相對密度的離子束,當離子束負電子產品工件? 電子器件的能量轉化為能源,使產品工件原材料被熔融而完成電焊焊接的。其特性是它的比能量大,較? 達到106~108W/cm2,比一般氬弧焊高100~1000倍;焊接深長寬比達到20:1(一般的氬弧焊? 1.5:1);并且電焊焊接是在真空自然環境下開展,當真空數為1Pa時,殘留汽體中所存有的O? N2的量要比純凈度為99.9%的稀有氣體也要少,能夠確保焊接不被汽體環境污染;電焊焊接標準可? 精準操縱。因為這種焊接工藝的眾多特性,因而,尤其合適于以鋁合金為原材料的航天飛機所? 套的然料儲箱和液化氣瓶焊接的電焊焊接。而EZD1-60×100型真空電子束焊機更是因此目? 在汲取世界各國類似真空電子束焊機優勢的基本上建立了新的構造計劃方案而研制的。在其中? 機的真空系統便是依據真空設備所遵照真空系統方式而精心策劃的? ①真空系統關鍵技術標準? a.真空室規格(mm):長×寬×高為2000×1600×2000。? b.真空室極限工作壓力(Pa):6.67×10-3。? C.壓力(Pa):高真空時為2.67×10-2;? 低真空時為2.67。

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d.抽真空時間? 高真空情況:當擴散泵加熱爐已加溫情況下,真空室工作壓力從空氣(105Pa)做到2.67? 10-2Pa,排氣管時間為15min? 低真空情況:單用羅獲泵、真空泵抽真空,從空氣(10Pa)做到267Pa時,排氣管時同是12m? ②真空系統設計方案測算

75Pa·L/s? a.明確該設備造成的汽體量? 二是系統軟件的國供氣量Q,經評測為758×10=1P2D:三是真空室原材料(碳素鋼)表層出供氣量? Q3,經測算為4.387Pa·L/s。? 總的汽體量Q=Q1+Q2+Q3=75+7.59×10-1+4.387=80.146Pa·L/s? Pa壓力(Pw)所必須的真空室進風口的有? b.明確該設備真空室中維持2.67×10? 效抽速S? 它的計算方法為

Q? 將Q、Pw值帶入得

Q
80.146? Pw2.67×10-2=3001L/s? 為了更好地靠譜考慮,將S值適度擴大,按20%擴大測算,具體規定的合理抽速為3602L/s。? c主閥的挑選以及抽速測算? 依據規定的壓力Pw和應用規定,挑選油擴散泵為主導泵。其真空抽氣機組如圖所示3? 從圖312得知,擴散泵上邊安裝有600單百葉窗簾障板;障板上邊安裝有GDDJ600? 電雙用板聞,前面裝有兩部2X70型真空泵構成真空發電機組

a)依據需要的合理抽速,充分考慮再加上障板、隔板閥后的泵的抽速損害,暫選抽速為? 17000L/s的K-600T擴散泵開展試算。? b)測算擴散泵與真空室排汽管道的流導,為認證選K-600T擴散泵是不是適合。? 總的流導C由高真空管路C1、障板流導C2、隔板閥流導C3串連構成
明確汽體沿管路的流動性動態性,當直空室壓力Pw=2.67×10-Pa,擴散泵人口壓力? 很低時,故管路出入口工作壓力能夠忽視。管路中的均值工作壓力p=Pw/2=1.33×10=Pa,這時d=7.92×10-Pa·cm<2Pa·cm(d為管道直徑),由此可見為分子結構流? 在分子結構流情況下,高真空管路流導C1=11.64Aa1/s,A為管路截面.。為流導指數。當? 1/d=12時、得。一05,帶入C式得C1=1630A,C1為15014C1為120
總流導C=C1C1+CC1+C(c1=4830.61? c)測算擴散泵的抽速S、擴散泵的抽速Sn由真空室需要的合理抽速S和總流導C決策,計算方法為
由此可見,挑選K600T擴散泵是適合的,此泵在10-2-10-Pa范疇內的均值抽速為? 空度p=7×10=Pa,能考慮該設備真空系統為2.67×10-Pa的? 規定,而該泵的較好壓力在1×10-2-1×10-4Pn,能考慮該設備壓力Pw為2.6710-Pa的規定? d.配泵測算(前面泵的配備)? 前面泵合理抽速S經測算為11.01L/s,前面管路流導Cn經測算為731.8L/s黏滯流? 從而獲得前面泵的抽速為S。=SC/(Cn-Sp)(L/s),一般將S1增大1.5-3倍后,明確? 前面泵抽速,取3倍,S。=1.6×3-33.5L/s,現選兩部2X70型真空泵徹底滿足要求? 以外,配兩部2X70泵也是為低真空系統中21-1200厘羅茨真空泵作前面泵考慮到的(規定前面泵? 抽速為兩部2X-70型真空泵)
c.測算抽真空時間? a)不考慮到管路的容量,其真空室的容量為64001/s,壓力Pw=2.67×10-2Pa首先用兩部2X-70型真空泵從空氣抽中13Pa,其計算方法為? (-(2. 3K V/Sp)lg(P/P)(min)
式中K修正系數,取2
起止工作壓力,取1×105Pa
P—停止工作壓力,取13Pa? 帶入公式計算t=13.6min,一般粗擠時間不超10~30min,具體開真空泵不上10min真? 空度達到20Pa,從而選兩部2X-70型真空泵是有效的。? 測算從13Pa到2.67×10-2Pa的抽真空時間,主要是考慮到原材料表層排氣的危害,1h后真空? 房間內壁、夾層玻璃、硅膠密封圈、錫墜表層原材料總的出供氣量4.387Pa·L/s(在其中真空室內面積? 為208×103cm2,企業排氣率7.73×10-Pa/s·
t1+t2=6.5min,設? 那樣從開真空泵至羅茨真空泵工作中,做到2.67Pa的排氣管時間為? 計指標值為12min。由此可見,低真空系統的配備是有效