?溫度對真空泵精確測量? 的色直空規(guī)管具體應(yīng)用溫度與原廠校正溫度不同樣,規(guī)管溫度與被測系統(tǒng)溫度不一樣,被測系? 溫度不勻稱或轉(zhuǎn)變,均會造成被測系統(tǒng)中氣體溫度轉(zhuǎn)變,危害真空泵精確測量結(jié)果,引入數(shù)據(jù)誤差? 至產(chǎn)生顯著不正確。設(shè)規(guī)管原廠校正時的溫度為T。(一般為293K),規(guī)管當(dāng)場應(yīng)用溫度為T1? (企業(yè)為K),規(guī)管的讀值壓力數(shù)值pm(企業(yè)為Pa),相匹配氣體的真正壓力和氣體分子數(shù)相對密度? 各自為戶和m(企業(yè)為m-3),這時被測超濾裝置中的溫度為T2,氣體壓力和分子結(jié)構(gòu)相對密度為p? 和n。在不一樣的壓力范疇內(nèi),能夠按下列公式計算開展調(diào)整。? (1)高壓力(A<d)時,系統(tǒng)軟件平衡條件是各部壓力相同,即

(10-45? 選用立即測壓力的立即精確測量真空計時,規(guī)管溫度、被測系統(tǒng)溫度及規(guī)管校正溫度不盡相同? 不造成出現(xiàn)偏差的原因,p1=Pm,不用調(diào)整。而選用測相對密度的等效替代法真空計(導(dǎo)熱真空計和水解? 務(wù)必調(diào)整到校正溫度。? 真空計)測

(10-46)? (2)低壓力(X>d)時,系統(tǒng)軟件均衡時多處的壓力和相對密度也不相同,只是

p? 用測壓力的立即精確測量真空計精確測量時,p=pm,并按上式開展調(diào)整。用測相對密度的等效替代法

10-47)? 真空計精確測量時,則要調(diào)整到規(guī)范溫度,這時有

TPm和P2

(10-48)? (3)中等水平壓力~d時,p/Pp2的值處在1和√T1/T2值中間。壓力愈低,會近