渦輪增壓分子泵工作中特點具體表現在以下好多個層面? (1)抽速與轉速的關聯? 抽速與轉速大概有

S

(4-67)? 的關聯。在其中：g是決策于幾何圖形樣子的參量；u為動葉子的轉速。評測結果如圖4-61所顯示? 即抽速隨轉速的提升比平行線偏慢。這可由抽速高時進氣口道流導的限定功效來表述，依式? (4-66),S將隨S1擴大而偏移平行線。? (2)抽速與進口壓強的關聯? 分子泵在分子流的壓強范疇內，其抽速基本上不會改變。由于分子流時流導C與壓強不相干；? 又依式(4-65),S1只決策輪葉樣子、轉速及汽體類型，也與壓強不相干。故依式(4-66),實? 際抽速也就與壓強不相干。但當壓強提高到不符合分子流標準時(約為2×101Pa),因為大? 一部分分子與輪葉不可以立即撞擊，抽速因而快速降低。如圖4-62中的右側一部分，曲線圖1、2、3? 相匹配不一樣的前面泵

(3)壓縮比與轉速及相對性分子品質的關聯? 壓縮比與轉速及相對性分子品質的平方根有指數值關聯

(G

(4-68? K? 式中，G為決策于幾何圖形樣子的主要參數? 評測結果與式基礎合乎。如圖4-63所顯示
為壓縮比，在其中：p表明前面泵口的壓? 力，力。表明分子泵通道工作壓力。同一轉速下，大汽體分子壓縮比大，極限真空泵高，輕汽體分? 子，壓縮比小，極限真空泵低，即分子泵極限真空泵中以輕分子為主導；也就是說，分子泵抽除像? 氡氣、氦氣等輕分子的能力較差。分子量大的汽體，壓縮比較高。它是渦輪增壓分子泵能用來得到 ? 清潔真空泵的物理學基本。? (4)壓縮比與前面壓強的關聯? 一般分子泵挑選真空泵做為前面泵，當今級壓強考慮一定規定時，分子泵工作中平穩，壓? 縮比維持參量。如圖所示464所顯示，當今級壓強升高到1Pa時，小質量數的分子壓縮比剛開始下? 降，當今級壓強升高到數十帕時，壓縮比驟降，分子泵便不可以一切正常工作中。

(5)抽速與汽體類型的關聯? 抽速與汽體類型如同圖4-65所顯示的關聯，即隨的轉變比平行線略慢。這是由于在轉速? 定時執行，P大的汽體雖然其速度比率大，因此輪葉的何氏指數大，但他們在進氣口道的流導? 都因擴大而減少。二者綜合性的結果使S與v的關聯轉變遲緩

真空泵維修--深圳市水泵揚程真空技術

?