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?? 為了更好地考慮極高真空泵分壓力精確測量的應用規定，作業者應依據質譜計關鍵性能指標? 挑選適度的儀器設備。真空泵質譜計的性能指標一般包含：質量范圍、分辨本領、分壓力? 敏感度、較少可檢分壓力、較大 工作中壓力、掃描速率和較少可檢濃度值等項。? (1)質量范圍? 質量范圍就是指質譜記到具備一定敏感度和分辨本領的標準下，儀器設備可以工作中的? 較少質量數到較大 質量數中間范疇，用質量數M表明。質量范圍的低限是用真空泵? 系統軟件殘留汽體的譜峰來明確，一般，采用分子態氫氧根離子的質量數M=1u列入品質? 范疇低限(較少質量數)。質量范圍限制是用精確測量試品汽體譜來明確，試品汽體應? 盡可能挑選含量(或相對原子質量)貼近質量范圍限制。在沒有適度試品汽體時，可依照? 質譜計的品質掃描主要參數和品質平均誤差的關聯，依據掃描主要參數的標值用外推方式測算? 出去
在極高直空分壓力精確測量中，質借計此項指標值的挑選是根據被測汽體成分而明確? 的，必須考慮到極高真空泵的殘留汽體和被檢試品汽體成分的含量尺寸2個要素。質? 量范疇的低限應確保對H2的M=1u的品質峰靠譜精確測量質量范圍限制的挑選根? 被測汽體的較大 質量數明確，極高真空泵的殘留汽體精確測量的較大 質量數挑選M=? 50u就可以了。假如必須檢驗甲苯、苯等少量殘留氣，儀器設備的質量范圍限制應挑選? M=100u,對氙氣的精確測量必須挑選質諧計的質量范圍限制M=150u
(2)分辨本領? 分辨本領是定性分析質譜計辨別質量數M和M+△M2個鄰近質譜峰的工作能力，通? 常見M/△M表明，△M被稱作肯定屏幕分辨率，用質量數M峰的某高寬比處的峰的總寬表明。真空泵質譜計一般在10%或50%峰高空精確測量△M。? 用以極高超濾裝置分壓力精確測量對分辨本領規定不高，一般△M=1(10%峰? 高)就可以了。為了更好地簡單化定量分析精確測量用峰高意味著該成分抗壓強度，規定質諧計在質量范圍內為恒峰寬，即分辨本領△M穩定。
(3)分壓力敏感度(敏感度)? 質譜計敏感度界定為：輸出離子流變化量△I除于造成這類轉變的汽體分壓力轉變值△P。敏感度的表明方式有二種：? 第一種方式選用企業壓力的離子流表明，企業為A/Pa,該方式是固定不動一定發送電流量，數不勝數值；? 第二種方式選用企業搜集電子流和企業壓力的離子流表明，企業為1/Pa。? 一般質譜計敏感度和分辨本領、掃描速率等別的主要參數相關，因而精確測量質譜計靈? 敏度時要要求質譜計工作中主要參數。除此之外，敏感度遭受電級環境污染、倍增器增益值衰減系數、燈? 絲部位轉變的危害而轉變，因此 在開展分壓力精確測量時，務必對敏感度開展按時校? 準。極高真空泵分壓力精確測量應盡可能挑選敏感度高的質譜計。
(4)較少可檢分壓力? 此項指標值標征質譜計敏感度、離子流檢驗、離子流紀錄等綜合能力。一般用公

式(4-14)來表明。? (4-14)? Pin=2IN/S

式中 Pmi? 較少可檢分壓力? ⅠN—離子流監測系統紀錄到的本底噪音，A;? S質譜計敏感度，A/Pa。? 噪音是由虛報的輸出標示造成的零輸出基準線的迅速轉變，噪音能夠依據要求進
一般質諧計較少可檢分壓力的性能指標和正離子搜集方法相關。選用法拉第筒收? 行檢測? 集和倍增器搜集的質譜計，可得出2個較少可檢分壓力標值：一個為法拉第正離子收? 集方法下較少可檢分壓力；另一個為倍增器正離子搜集方法下較少可檢分壓力。增長? 器搜集的較少可
的品質分離出來作用、離子源具備一定的正離子產額、鎢絲能夠一切正常工作中，? 壓力關聯有很大線形偏移。對用以分壓力精確測量的質譜計，較大 工作中壓力被界定為? 在壓力范疇內，離子流與壓力呈線型關聯。極高真空泵精確測量質問誚計此項指標值規定不

嚴苛。
(6)掃描速率? 根據更改品質掃描主要參數，使質譜記到全部質量范圍內開展品質掃描。掃描速率? 可以用單位時間內得到 的質量數(u/s)表明，還可以用掃描一個品質所需時間? (s/u)來表明。質譜計掃描速率和解析器的工作類型及相對的電子器件操縱路線有非常大? 關聯，如航行時間質譜計是依據說白了“渡越時間”的基本原理開展品質分離出來的，在老秒? 或更短期內內，能夠進行一次譜峰掃描。而磁偏轉真空泵質譜計，品質掃描是根據改
變正離子導入工作電壓完成的，工作電壓值一般為好幾千伏，因而掃描速率不可以太快。四極質諧
計品質掃描是根據更改釋放在電級上高頻率工作電壓幅度值完成的，具備迅速的掃描速率? 作業者應依據實際應用目地挑選儀器設備此項指標值。
(7)較少可檢濃度值
此項指標值是定性分析質譜計對混合氣中可精確測量到某類較少成分的主要參數，一般用壓? 力成績P小/P全來表明。式中的P為混合氣中某類成分的較少分壓力，p全? 為混合氣的全壓力。在一些獨特應用的場所中，規定質譜計能得出某類汽體成分? 的摩爾分數或壓力成績(濃度值),如室內空間原材料在室內環境排氣特性精確測量中，對一些? 有害物質濃度值檢驗期待檢驗到有害物質的摩爾分數低于1×106(1ppm)。這時儀? 器的使用人應將較少可檢濃度值的指標值做為關鍵考慮到根據。需注意挑選在大正離子峰? 周邊檢驗細微數據信號峰具備優良作用的儀器設備
真空泵維修-深圳市水泵揚程真空技術